2020年9月16日,匠嶺半導(dǎo)體獲得數(shù)千萬人民幣的A輪融資,投資方為深圳高新投、正軒投資、鵬瑞集團(tuán)。
芯片制造工藝發(fā)展到28納米以下技術(shù)節(jié)點(diǎn)時(shí)面臨著諸多挑戰(zhàn),但一項(xiàng)通常被忽視的技術(shù)變得異常困難,卻又對(duì)工藝控制尤為重要,這就是半導(dǎo)體光學(xué)量測與檢測技術(shù)。
在14納米和10納米以下的芯片技術(shù)節(jié)點(diǎn),需要采用更小尺寸的三維FinFETs場效應(yīng)晶體管,它有各種各樣復(fù)雜的三維結(jié)構(gòu)和而難以量測的薄膜,并與混入的新材料緊密集成在一起,結(jié)構(gòu)尺寸常常小到10埃 (1納米),對(duì)微觀量測技術(shù)提出了更高的挑戰(zhàn)。
匠嶺半導(dǎo)體從事半導(dǎo)體光學(xué)量測和檢測裝備的研發(fā)、制造和銷售; 主要產(chǎn)品涵蓋半導(dǎo)體光學(xué)薄膜量測機(jī)臺(tái)、半導(dǎo)體光學(xué)線寬量測機(jī)臺(tái),半導(dǎo)體光學(xué)缺陷檢測機(jī)臺(tái)等;
公司研發(fā)團(tuán)隊(duì)實(shí)力雄厚,60%以上具有博士及碩士學(xué)位,注重核心技術(shù)自主研發(fā)的同時(shí),積極布局全球化技術(shù)合作和市場開發(fā),已在多個(gè)光學(xué)量測與檢測領(lǐng)域獲得技術(shù)突破,并獲得來自國內(nèi)外多家客戶的正式訂單。
匠嶺半導(dǎo)體成立于2018年,主要從事半導(dǎo)體光學(xué)量測和檢測裝備的研發(fā)、制造和銷售,主要產(chǎn)品涵蓋半導(dǎo)體薄膜和光學(xué)線寬量測機(jī)臺(tái)、半導(dǎo)體Micro-Bump三維檢測機(jī)臺(tái)和半導(dǎo)體宏觀缺陷檢測機(jī)臺(tái)等。
芯片制造需要經(jīng)歷前道圓晶制造和后道封裝測試兩大環(huán)節(jié)、數(shù)百道工序。而檢測是貫穿制造全過程的重要環(huán)節(jié),也是保證芯片生產(chǎn)良品率的關(guān)鍵。其中,芯片生產(chǎn)過程的薄膜厚度、薄膜反射率、關(guān)鍵尺?、套刻精度、晶圓形貌、膜層應(yīng)?的測量以及晶圓表面雜質(zhì)顆粒、沾污、機(jī)械劃傷、圖案缺陷等問題的檢測都需要用到光學(xué)檢測。
而針對(duì)不同膜層結(jié)構(gòu)、不同工藝方法、不同缺陷類型的檢測需要使用不同的技術(shù)和不同產(chǎn)品,全面的產(chǎn)品布局尤為重要。匠嶺半導(dǎo)體正是聚焦于此,其產(chǎn)品布局貫穿前道和后道工序。其中,應(yīng)用于光刻和CMP工藝的薄膜量測機(jī)臺(tái)、以及應(yīng)用于光刻工藝、先進(jìn)封裝和Micro-LED的多款光學(xué)量測與檢測產(chǎn)品都已經(jīng)獲得了正式訂單和部分重復(fù)訂單,其余多款產(chǎn)品均完成了核心技術(shù)的開發(fā)。