2023年9月4日，勵(lì)兆科技獲得數(shù)千萬人民幣的Pre-A輪融資，投資方為中芯聚源、Monolith Management礪思資本、臨港科創(chuàng)。

　　上海勵(lì)兆科技有限公司成立于2022年8月，勵(lì)兆科技是一家專注于半導(dǎo)體工藝設(shè)備領(lǐng)域的射頻和等離子系統(tǒng)供應(yīng)商，專注于等離子體工藝設(shè)備核心部件的研發(fā)、制造和銷售，所生產(chǎn)的主要產(chǎn)品有括射頻電源、自動阻抗匹配器、遠(yuǎn)程等離子體源，以及定制化模塊，包括高壓模塊、直流偏壓探測器、濾波器等，并提供系統(tǒng)的技術(shù)解決方案。

　　勵(lì)兆科技團(tuán)隊(duì)在射頻、電力電子、控制和算法技術(shù)上都具有較深積累和完備的布局。高頻電力電子是射頻技術(shù)的一種，其人才在全球都非常稀缺，半導(dǎo)體射頻電源要求兆赫茲級別的電力電子技術(shù)。勵(lì)兆科技核心成員從2012年便開始深耕這個(gè)領(lǐng)域的研究，是國際上為數(shù)不多的華人專家之一。 

　　同時(shí)，產(chǎn)品的算法需要和半導(dǎo)體工藝相結(jié)合，需要熟悉等離子體加工工藝，且要有扎實(shí)的數(shù)理背景，勵(lì)兆科技能很好地結(jié)合客戶的實(shí)際工藝需求來研究和優(yōu)化算法。

　　勵(lì)兆科技的主要產(chǎn)品是等離子射頻電源及其配套系統(tǒng)和遠(yuǎn)程等離子源(RPS)系統(tǒng)，而這些產(chǎn)品的基本作用就是在相關(guān)半導(dǎo)體工藝設(shè)備中產(chǎn)生等離子體并達(dá)成相關(guān)各種工藝。

　　在每道工序中，等離子體的產(chǎn)生及工作原理都不盡相同。比如大部分先進(jìn)刻蝕系統(tǒng)，需要射頻電源具備脈沖調(diào)制功能，以便用于刻蝕的等離子體有發(fā)生和中和的過程，可以穩(wěn)定地朝著工藝指定的方向刻蝕；又比如在部分原子層沉積工藝中，為了配合工藝前體氣體脈沖快速釋放的節(jié)奏，射頻電源需要配備復(fù)雜的調(diào)頻功能來快速穩(wěn)定降低射頻反射系數(shù)。 

　　針對這些技術(shù)要求，勵(lì)兆科技成立一年便開發(fā)出了13.56MHz系列和400KHz系列射頻電源產(chǎn)品，部分關(guān)鍵性能參數(shù)已達(dá)到國際先進(jìn)水平，比如功率可調(diào)精度在0.1瓦，脈沖頻率從2Hz到50KHz，占空比1%-99%，配合獨(dú)有MOFT調(diào)頻功能 (模型導(dǎo)向的自動調(diào)頻技術(shù))，能實(shí)現(xiàn)亞毫秒量級的高速阻抗匹配，可以有效地滿足多種工藝的需求，在國內(nèi)率先為先進(jìn)蝕刻和原子層沉積等工藝提供了可選方案。

　　同時(shí)在遠(yuǎn)程等離子源(RPS)領(lǐng)域，勵(lì)兆科技正在開發(fā)一款可用于12寸晶圓去膠/氧化/清潔等工藝領(lǐng)域的產(chǎn)品，預(yù)計(jì)在2023年年底可為關(guān)鍵客戶送樣測試。